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商品编码 商品名称 计量单位 增值税退税率(%)
84862010 制造半导体器件或集成电路用的热处理设备 17
84862021 制造半导体器件或集成电路用的化学气相沉积装置 17
84862022 制造半导体器件或集成电路用的物理气相沉积装置 17
84862029 制造半导体器件或集成电路用的其他薄膜沉积设备 17
84862031 制造半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机 17
84862039 制造半导体器件或集成电路用的其他光刻设备 17
84862041 制造半导体器件或集成电路用的等离子体干法刻蚀机 17
84862049 制造半导体器件或集成电路用的其他刻蚀及剥离设备 17
84862050 制造半导体器件或集成电路用的离子注入机 17
84862090 制造半导体器件或集成电路用的其他机器及装置 17
84863010 制造平板显示器用的热处理设备 17
84863021 制造平板显示器用的化学气相沉积装置 17
84863022 制造平板显示器用的物理气相沉积装置 17
84863029 制造平板显示器用的其他薄膜沉积设备 17
84863031 制造平板显示器用的分步重复光刻机 17
84863039 制造平板显示器用的其他光刻设备 17
84863041 制造平板显示器用的超声波清洗装置 17
84863049 制造平板显示器用的其他湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置 17
84863090 制造平板显示器用的其他机器及装置 17
84864010 专用于制作和修复掩膜版的装置 17
84864021 专用于装配与封装半导体器件或集成电路的塑封机 17
84864022 专用于装配与封装半导体器件或集成电路的引线键合设备 17
84864029 专用于装配与封装半导体器件或集成电路的机器及装置 17
84864031 集成电路工厂专用的自动搬运机器人 17
84864039 其他集成电路或液晶显示屏工厂专用升降、装卸、搬运装置 17
84869010 升降、搬运、装卸机器用零件及附件(自动搬运设备用除外) 千克 17
84869020 引线键合装置用零件及附件 千克 17
84869091 带背板的溅射靶材组件 千克 17
84869099 其他半导体器件、集成电路、液晶显示器生产专用设备的零件及附件 千克 17
84871000 船用推进器及桨叶 千克 17